半導(dǎo)體加工中的材料科學(xué)(Materials Science In Semiconductor Processing)是一本由Elsevier Ltd出版的一本工程技術(shù)-材料科學(xué)：綜合學(xué)術(shù)刊物，主要報(bào)道工程技術(shù)-材料科學(xué)：綜合相關(guān)領(lǐng)域研究成果與實(shí)踐。本刊已入選來(lái)源期刊，該刊創(chuàng)刊于1998年，出版周期Bimonthly。2021-2022年最新版WOS分區(qū)等級(jí)：Q2，2023年發(fā)布的影響因子為4.2，CiteScore指數(shù)8，SJR指數(shù)0.732。本刊非開(kāi)放獲取期刊。
《半導(dǎo)體加工中的材料科學(xué)》為討論（光）電子、傳感器、探測(cè)器、生物技術(shù)和綠色能源的功能材料和器件的新型加工、應(yīng)用和理論研究提供了一個(gè)獨(dú)特的論壇。
每期都旨在提供當(dāng)前見(jiàn)解、新成就、突破和未來(lái)趨勢(shì)的快照，涉及微電子、能量轉(zhuǎn)換和存儲(chǔ)、通信、生物技術(shù)、（光）催化、納米和薄膜技術(shù)、混合和復(fù)合材料、化學(xué)加工、氣相沉積、器件制造和建模等不同領(lǐng)域，這些領(lǐng)域是先進(jìn)半導(dǎo)體加工和應(yīng)用的支柱。
內(nèi)容包括：亞微米器件的先進(jìn)光刻技術(shù)；蝕刻及相關(guān)主題；離子注入；損傷演變和相關(guān)問(wèn)題；等離子體和熱 CVD；快速熱處理；先進(jìn)的金屬化和互連方案；薄介電層、氧化；溶膠-凝膠處理；化學(xué)浴和（電）化學(xué)沉積；復(fù)合半導(dǎo)體加工；新型非氧化物材料及其應(yīng)用； (大)分子和混合材料；分子動(dòng)力學(xué)、從頭算方法、蒙特卡羅等；分立電路和集成電路的新材料和新工藝；磁性材料和自旋電子學(xué)；異質(zhì)結(jié)構(gòu)和量子器件；半導(dǎo)體電學(xué)和光學(xué)特性的工程；晶體生長(zhǎng)機(jī)制；可靠性、缺陷密度、固有雜質(zhì)和缺陷。
| 大類學(xué)科 | 分區(qū) | 小類學(xué)科 | 分區(qū) | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術(shù) | 3區(qū) | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科學(xué)：綜合 PHYSICS, APPLIED 物理：應(yīng)用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理：凝聚態(tài)物理 | 3區(qū) 3區(qū) 3區(qū) 3區(qū) | 否 | 否 |
| 大類學(xué)科 | 分區(qū) | 小類學(xué)科 | 分區(qū) | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術(shù) | 3區(qū) | PHYSICS, APPLIED 物理：應(yīng)用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理：凝聚態(tài)物理 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科學(xué)：綜合 | 2區(qū) 2區(qū) 3區(qū) 3區(qū) | 否 | 否 |
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| 工程技術(shù) | 3區(qū) | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科學(xué)：綜合 PHYSICS, APPLIED 物理：應(yīng)用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理：凝聚態(tài)物理 | 3區(qū) 3區(qū) 3區(qū) 3區(qū) | 否 | 否 |
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| 工程技術(shù) | 3區(qū) | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科學(xué)：綜合 PHYSICS, APPLIED 物理：應(yīng)用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理：凝聚態(tài)物理 | 3區(qū) 4區(qū) 3區(qū) 3區(qū) | 否 | 否 |
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| 工程技術(shù) | 3區(qū) | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科學(xué)：綜合 PHYSICS, APPLIED 物理：應(yīng)用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理：凝聚態(tài)物理 | 3區(qū) 3區(qū) 3區(qū) 3區(qū) | 否 | 否 |
| 大類學(xué)科 | 分區(qū) | 小類學(xué)科 | 分區(qū) | Top期刊 | 綜述期刊 |
| 工程技術(shù) | 3區(qū) | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：電子與電氣 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科學(xué)：綜合 PHYSICS, APPLIED 物理：應(yīng)用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理：凝聚態(tài)物理 | 3區(qū) 3區(qū) 3區(qū) 3區(qū) | 否 | 否 |
中科院JCR期刊分區(qū)（又稱分區(qū)表、分區(qū)數(shù)據(jù)）是中國(guó)科學(xué)院文獻(xiàn)情報(bào)中心世界科學(xué)前沿分析中心的科學(xué)研究成果。在中科院期刊分區(qū)表中，主要參考3年平均IF作為學(xué)術(shù)影響力，最終每個(gè)分區(qū)的期刊累積學(xué)術(shù)影響力是相同的，各區(qū)的期刊數(shù)量由高到底呈金字塔式分布。
| 按JIF指標(biāo)學(xué)科分區(qū) | 收錄子集 | 分區(qū) | 排名 | 百分位 |
| 學(xué)科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q2 | 89 / 352 |
74.9%
|
| 學(xué)科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q2 | 158 / 438 |
64%
|
| 學(xué)科：PHYSICS, APPLIED | SCIE | Q2 | 51 / 179 |
71.8%
|
| 學(xué)科：PHYSICS, CONDENSED MATTER | SCIE | Q2 | 25 / 79 |
69%
|
| 按JCI指標(biāo)學(xué)科分區(qū) | 收錄子集 | 分區(qū) | 排名 | 百分位 |
| 學(xué)科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q2 | 113 / 354 |
68.22%
|
| 學(xué)科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q2 | 125 / 438 |
71.58%
|
| 學(xué)科：PHYSICS, APPLIED | SCIE | Q2 | 47 / 179 |
74.02%
|
| 學(xué)科：PHYSICS, CONDENSED MATTER | SCIE | Q1 | 19 / 79 |
76.58%
|
湯森路透每年出版一本《期刊引用報(bào)告》（Journal Citation Reports，簡(jiǎn)稱JCR）。JCR對(duì)86000多種SCI期刊的影響因子（Impact Factor）等指數(shù)加以統(tǒng)計(jì)。JCR將收錄期刊分為176個(gè)不同學(xué)科類別在JCR的Journal Ranking中，主要參考當(dāng)年IF，最終每個(gè)分區(qū)的期刊數(shù)量是均分的。
| 學(xué)科類別 | 分區(qū) | 排名 | 百分位 |
| 大類：Engineering 小類：Mechanical Engineering | Q1 | 87 / 672 |
87%
|
| 大類：Engineering 小類：Condensed Matter Physics | Q1 | 59 / 434 |
86%
|
| 大類：Engineering 小類：Mechanics of Materials | Q1 | 60 / 398 |
85%
|
| 大類：Engineering 小類：General Materials Science | Q1 | 100 / 463 |
78%
|
CiteScore：該指標(biāo)由Elsevier于2016年提出，指期刊發(fā)表的單篇文章平均被引用次數(shù)。CiteScorer的計(jì)算方式是：例如，某期刊2022年CiteScore的計(jì)算方法是該期刊在2019年、2020年和2021年發(fā)表的文章在2022年獲得的被引次數(shù)，除以該期刊2019年、2020年和2021發(fā)表并收錄于Scopus中的文章數(shù)量總和。
| 文章名稱 | 引用次數(shù) |
| 期刊名稱 | 引用次數(shù) |
| 期刊名稱 | 引用次數(shù) |
| 國(guó)家/地區(qū)名 | 數(shù)量 |
| 機(jī)構(gòu)名 | 數(shù)量 |
中科院分區(qū) 2區(qū) JCR分區(qū) Q1
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中科院分區(qū) 1區(qū) JCR分區(qū) Q1
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中科院分區(qū) 1區(qū) JCR分區(qū) Q1
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中科院分區(qū) 4區(qū) JCR分區(qū) Q3
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中科院分區(qū) 1區(qū) JCR分區(qū) Q1
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中科院分區(qū) 1區(qū) JCR分區(qū) Q1
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